檢具制造完成后的測量是個比較繁瑣的步驟。由于檢具的結構較復雜且3D曲面測量點較多，所以一般采取臺式三坐標來測量，雖然臺式三坐標精度高但是在操作上較為不便，尤其部分檢具體積較大且死角較多，傳統臺式三坐標測量的弊端就出現了。所以另一種測量方式被大家認知，這就是關節臂三坐標測量儀，一個酷似機械手的測量儀器。

由幾根固定長度的臂通過繞互相垂直軸線轉動的關節互相連接，在最后的轉軸上裝有探測系統的坐標測量裝置。一般用三個“-” 隔開的數來表示肩、肘和腕的轉動自由度，2-2-3 配置可以有a0-b0-d0-e0-f0 和 a0-b0-c0-d0-e0-f0-g0 角度轉動的關節臂測量機，為了適應當前情況，關節數一般小于7，一般為手動測量。

關節臂式測量機是以角度基準取代長度基準，將若干桿件和一個測頭通過旋轉關節串聯連接，測頭端在空間自由運動，一般它由基座、6個關節、2個臂，以及測頭等部分組成，該測量系統具有空間六自由度，可以方便地實現復雜工件的測量。關節臂式坐標測量機以各個關節的轉角和作用臂作為測量基準，通過坐標系變換實現坐標測量。因此，數據采集系統中首要測量的參數為各個關節的轉角，作用臂長通過機械結構的標定來確定。